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Verifire? XPZ? - 是高精度高重復性的相位調(diào)變鐳射干涉儀,具有 640× 480 圖元解析度,與 ZYGO 功能強大的MetroPro® 軟體進行資料處理和分析。ZYGO Verifire? XPZ型鐳射干涉儀可以為光學元器件的平面、球面面形和透射波陣面提供快速、高精度干涉測量，配合功能強大的MetroPro®軟體可以獲得高重復性和高精度的測量結(jié)果。在過去的三十多年，我們的干涉儀是世界各地量測設(shè)備的*選。Verifire? XPZ運用精確相位調(diào)變技術(shù)對物件的細微面形進行精密測量，具有很高的精確度和重復性。測量時對干涉腔長進行精確調(diào)制，同時640 x 480 圖元CCD進行資料擷取多個條紋圖像，由MetroPro®軟體分析計算。

在使用時有如下應用

        ? 可以測量玻璃或者塑膠光學元件，如：
        ? 平面、透鏡、棱鏡；
        ? 還有精密合金件、電腦硬碟磁片、軸承和封接面；
        ? 拋光件、陶瓷、接觸鏡等。