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LuphoScan高精度非接觸式鏡片三維形貌輪廓儀

LuphoScan測量平臺是一款基于多波長干涉技術(shù)(MWLI®)的干涉式掃描測量系統(tǒng),設(shè)計用于旋轉(zhuǎn)對稱光學(xué)組件(例如非球面透鏡)的精密非接觸式3D形狀測量的目的。

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LuphoScan測量平臺是一款基于多波長干涉技術(shù)(MWLI)的干涉式掃描測量系統(tǒng)。LUPHO Scan是基于MWLI方法技術(shù)(多波長干涉儀)的測量設(shè)備。設(shè)計用于旋轉(zhuǎn)對稱光學(xué)組件(例如非球面透鏡)的精密非接觸式3D形狀測量的目的,可以在納米級上測量3D光學(xué)組件的真實形狀。 它專為旋轉(zhuǎn)對稱表面的精密非接觸式3D形狀測量而設(shè)計, 例如非球面光學(xué)透鏡。LuphoScan平臺能夠輕松進(jìn)行非球面、球面、平面和自由曲面的測量。 該儀器的主要特性包括高速測量、特殊表面的高靈活度測量(例如:拐點的輪廓或平坦的尖點)。 因為采用多波長干涉技術(shù)(MWLI)傳感器技術(shù), 因此能夠掃描各種表面類型如透明材料、金屬部件和研磨表面。能夠測量120/260/420/600毫米直徑光學(xué)組件的高速非接觸式3D光學(xué)表面形狀測量儀/輪廓儀.


在使用時有如下特性和優(yōu)勢:

    1. 測量精度:復(fù)雜的參考傳感器以及特殊的基準(zhǔn)框架概念, 精度可在±50nm以上。
    2. 高速測量:典型測量時間30mm直徑球面小于2分鐘,130mm直徑球面小于5分半鐘。
    3. 多樣化的測量平臺配置:LuphoScan測量平臺技術(shù)能夠提供三種不同大小和不同測量配置的選擇。
    4. 測量平臺大小能夠決定被測物體直徑。 測量直徑可選:260mm、420mm、600mm、850mm.
    5. LUPHO Scan 120、260、420的三種型號可以通過被測零件的尺寸和可選功能進(jìn)行選擇
    6 . 研究表面旋轉(zhuǎn)對稱的可能性:非球面,球面,平面和自由曲面
    7. 完整評估鏡片特性包括:鏡片厚度,楔形誤差,偏心誤差,鏡片安裝位置等。




主要應(yīng)用領(lǐng)域

LuphoScan測量系統(tǒng)用于測量可旋轉(zhuǎn)的對稱表面的3D拓?fù)浣Y(jié)構(gòu), 例如凹面球面透鏡和凸面球面透鏡。 測量工作臺的設(shè)計能夠確保測量大多數(shù)的透鏡, 而不受任何球形偏離、罕見頂端形狀(平頭)、傾斜或者發(fā)射點圖的限制。除了標(biāo)準(zhǔn)的測量應(yīng)用外, 還可以使用LuphoScan測量平臺的特殊擴展工具LuphoSwap不同擴展功能, 來完成多種光學(xué)要素特征的測量。該工具能夠輔助測量透鏡厚度, 以及楔形與偏心誤差。 除此之外, 額外的附加軟件類型能夠直接測量間斷的透鏡,如分段表面包括矩形部件、環(huán)形透鏡、有衍射階梯的表面和錐透鏡。


LUPHO Scan 120、260、420的三種型號可以通過被測零件的尺寸和可選功能進(jìn)行選擇


高測量速度

高響應(yīng)度的傳感器可確保高測量速度。

鏡頭類型 尺寸 測量時間
大多數(shù)非球面鏡片 φ420毫米 不到8分鐘
非拋光非球面鏡片 φ55毫米 4分45秒
拋光非球面鏡片 φ54毫米 4分50秒
鷗翼形非球面鏡片 φ48毫米 3分45秒


通過LuphoSwap對光學(xué)元件形狀誤差進(jìn)行完整的特性評估





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