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柵尺名稱

精度

柵距

熱膨脹

系數(shù)

柵尺*大長度

讀數(shù)頭兼容性

RGSZ/RGSN

±15 μm/m

20 μm

使用端壓塊固定到基體，保持與基體相同的熱膨脹

如需超過50 m的長度，請聯(lián)系雷尼紹

TONiC、TONiC UHV

柵尺名稱

精度

柵距

熱膨脹

系數(shù)

柵尺*大長度

讀數(shù)頭兼容性

搭配可選FASTRACK?的RTLC20

±5 μm/m

20 μm

~10.6 μm/m/°C

10 m

TONiC、TONiC UHV

柵尺名稱

精度

柵距

熱膨脹

系數(shù)

柵尺*大長度

讀數(shù)頭兼容性

RELM/RELE

1 m內(nèi)為±1 μm，以后±1 μm/m

20 μm

0.75 ±0.35 μm/m/°C

1.5 m

TONiC、TONiC UHV

柵尺名稱

精度

柵距

熱膨脹

系數(shù)

柵尺*大長度

讀數(shù)頭兼容性

RSLM/RSLE/RSLC

1 m內(nèi)為±1.5 μm，

2 m內(nèi)為±2.25 μm，3 m內(nèi)為±3 μm，

5 m內(nèi)為±4 μm

20 μm

~10.8 μm/m/°C

5 m

TONiC、TONiC UHV 

柵尺名稱

刻劃精度（取決于圓光柵直徑）

柵距

熱膨脹

系數(shù)

圓光柵直徑

讀數(shù)頭兼容性

RESM/REST/RESD

±3.97至±0.38角秒

20 μm

17 μm/m/°C

52至550 mm

柵尺名稱

安裝精度（取決于圓光柵直徑）

柵距

熱膨脹

系數(shù)

圓光柵直徑

讀數(shù)頭兼容性

REXM/REXT

（≥100 mm直徑）±1角秒
（75 mm直徑）±1.5角秒
（≤57 mm直徑）±2角秒

20 μm

17 μm/m/°C

 52至417 mm